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中国科学院物理研究所
磁学国家重点实验室
M03 课题组
Copyright © 2010.8 物理所磁学国家重点实验室M03组
更新日期:2012年12月

扫描针技术探测纳米尺度电阻转换的不均匀性

目前关于阻变效应的研究主要集中在器件的静态特性上,对电阻转变的瞬态过程涉及不多,而这方面的工作对于阐明材料中离子迁移,导电通道形成和演化等的微观机制具有重要意义。我们搭建了测量RRAM器件动态阻变过程的测试系统,成功捕获了Ti/HfO2/Pt器件在脉冲信号驱动下set/reset操作的瞬态响应过程,发现set过程分两个阶段:电流基本恒定的等待阶段和电流急剧上升的突变阶段;而reset过程则随电压脉冲及时发生,并表现出缓变行为。通过施加不同形式的set脉冲串,我们发现外电场对器件的作用存在着积累和耗散效应,并具有无极性特征。因此我们认为这种非线性的Twait-Vset依赖关系是源于局域焦耳热效应对介质层击穿的加速作用.这一结果为解决基于离子迁移体系RRAM器件中的“voltage-time dilemma”问题提供了新思路,相关结果发表在 Applied Physics Letter 101, 203502. (2012) 上。

    详细结果见

 

http://nanotechweb.org/cws/article/lab/46334